潔淨室的分類

　　1.亂流式(Turbulent Flow)：

　　空氣由空調箱經風管與潔淨室內之空氣過濾（lǜ）器(HEPA)進入潔淨室，並由潔淨（jìng）室（shì）兩側隔間牆板或（huò）高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於（yú）潔淨室（shì）等級1,000-100,000級（jí）。

　　優點：構造簡單、係統建造成本，潔淨室之擴（kuò）充比較容易，在某些特殊用途場所，可並用無塵工作台，提高潔淨室等級。

　　缺點：亂流（liú）造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出，易汙染製程產品。另外若係統停止運轉再激活，欲達需求之潔淨度，往往須耗時（shí）相（xiàng）當長一段時間。

　　2.層流式(Laminar)：

　　層流式空氣氣流（liú）運動成（chéng）一均勻之直線形，空氣由（yóu）覆蓋率100%之過濾器進入室內，並由高架地板或兩側隔牆板（bǎn）回（huí）風（fēng），此型式適用（yòng）於潔淨室等級需定較高之（zhī）環境使用，一般其潔淨室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平（píng）式（shì）空氣自過濾器單方向吹出，由對（duì）邊牆壁之回（huí）風係統回風，塵埃（āi）隨風向排出（chū）室外，一般在下（xià）流側汙染（rǎn）較（jiào）嚴重。

　　優（yōu）點：構造簡單，運轉後短時間內即可變成穩定。

　　缺點：建造費用比亂流（liú）式高，室內空（kōng）間（jiān）不易擴充。

　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器（qì）覆蓋，空氣由上往下吹，可（kě）得較高之潔淨度，在製程中或工作人員所

　　產（chǎn）生（shēng）的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。

　　優點：管理容（róng）易，運轉開始短時間內即可達（dá）穩定狀態，不（bú）易為作業狀態或作業（yè）人員所影響。

　　缺（quē）點：構造費用較高，彈性運用空間（jiān）困難，天花（huā）板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

　　3.複合式(Mixed Type)：

　　複合式為將亂流式及層流式予以（yǐ）複合或並用，可提供局部超潔淨之空氣。

　　(1)潔淨隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆（fù）蓋使（shǐ）潔淨度等（děng）級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作（zuò）區與產品和機（jī）器維修予（yǔ）以隔離，以避免機器維修時影響了工作及（jí）品質，ULSI製程大都（dōu）采用此種型（xíng）式。

　　潔淨隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易（yì）; B.維修（xiū）設備時可在維修區輕易（yì）執行。

　　(2)潔淨管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍並淨化處理，將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔淨度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為 適宜使用。藥品、食品（pǐn）業界及半導體業界均適用（yòng）。

　　(3)並裝局部潔淨室(Clean Spot)：將潔淨室等級10,000~100,000之亂流（liú）潔淨室內之產品製程區的潔淨度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用（yòng）;潔淨工作台、潔淨工作（zuò）棚、潔淨風櫃即屬此類。

　　潔淨工作台：等級Class 1~100級。

　　潔淨工作棚（péng）：為在亂流式之（zhī）潔淨室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機（jī）組而成為一較高級之潔淨空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋麵積約10m2以下，四支支柱並加裝（zhuāng）活動輪，可為（wéi）彈性運用。